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川本恒温恒压冷冻机控制系统在MOCVD半导体芯片设备的应用

2020-07-10 12:59120

一、 系统参数

       争对深圳一生产LED芯片厂家的现状,现车间有5MOCVD机、高温烘烤炉、单这退火炉、XRD分析测试机各1台,根据客户需要进行恒温恒压供水设计。

       初步设计5MOCVD机分别由240HP120HP制冷系统分别对其进行恒温恒压供水,高温烘烤炉、单这退火炉、XRD分析测试机1台的供水由115HP制冷系统进行恒温恒压供水,依据参数设计如下表:

设备 

数量

冷水流量(m3/h)

供水压力

bar

最小压差

bar

进水温度

进水管径

不绣钢

所需配

冷水机

备注

1#MOCVD

1

10

4.83±0.69

4-6)可调

2.76

1820

DN25

 

40HP

 

 

水质为

纯净水

2#MOCVD

1

10

4.83±0.69

4-6)可调

2.76

1820

DN25

3#MOCVD

1

10

4.83±0.69

4-6)可调

2.76

1820

DN25

 

40HP

 

水质为

纯净水

4#MOCVD

1

10

4.83±0.69

4-6)可调

2.76

1820

DN25

5#MOCVD

1

10

4.83±0.69

4-6)可调

2.76

1820

DN25

20HP

水质为

纯净水

高温烘炉

1

12

2.5

 

2225

DN50

 

 

15HP

 

 

水质为

纯净水

单管退火炉

1

3

 

 

 

DN20

XRD

1

0.36

4

――

1525

DN15

 二、变频恒压供水特点:    1、恒压供水能自动24小时维持恒定压力,并根据压力信号自动启动备用泵,无级调整压力,供水质量好,与传统供水比较,不会造成管网破裂及水龙头共振现象。    2、动平滑,减少电机水泵的冲击,延长了电机及水泵的使用寿命,避免了传统供水中的水锤现象。    3、采用变频恒压供水保护功能齐全,运行可靠,具有欠压、过压、过流、过热等保护功能。    4、系统配置可实现全自动定时供水,彻底实现无人值守自动供水.控制系统具有故障报警和显示功能,并可进行工变频转换,应急供水。    5、系统根据用户用水量的变化来调节水泵转速,使水泵始终工作在高效区,当系统零

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